ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì)，是大多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì)，提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度。

產(chǎn)品型號(hào)：PHI ADEPT010

更新時(shí)間：2026-07-13

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：4485

產(chǎn)品咨詢 17621138977

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

同位素質(zhì)譜儀

查看全部產(chǎn)品

【界面科學(xué)】動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀如何精準(zhǔn)捕捉界面處的元素?cái)U(kuò)散與偏析現(xiàn)象？

磁扇型質(zhì)譜vs四極桿質(zhì)譜：動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀的質(zhì)量分析器該如何選擇？

二次離子質(zhì)譜儀（SIMS）選購指南：駕馭表面分析的理想探針

詳細(xì)介紹在線留言

　　動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，簡稱D-SIMS)是一種用于固體材料成分分析的高靈敏度表面分析技術(shù)。

　　ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì)，是大多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì)，提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度。

　　工作原理：

　　動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀通過使用聚焦的高能量一次離子束(如O??、Cs?、Ar?等)轟擊樣品表面，使樣品表面的原子或分子被濺射出來。在這個(gè)過程中，部分濺射出的粒子會(huì)帶電，形成二次離子。這些二次離子被收集并傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過質(zhì)譜分析可以確定樣品的化學(xué)組成和元素分布。

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀