Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀     

主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。        

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線(xiàn)檢測(cè)計(jì)數(shù)裝置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測(cè)量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料，如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向測(cè)量的臺(tái)式 X 射線(xiàn)衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺(tái)石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線(xiàn)技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH     

傳承60年德國(guó)工匠精神-三代X射線(xiàn)工程師        

 Omega/Theta XRD - X射線(xiàn)晶體定向儀產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：       

◆  采用Omega-scan掃描方法       

◆  測(cè)試速度快: 5s        

◆  測(cè)角精度高: 0.003        

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能        

◆  磨拋定向解決方案        

◆  擁有晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）專(zhuān)為SiC工業(yè)設(shè)計(jì)，被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國(guó)外四分之三的碳化硅制造商依賴(lài)Freiberg Instruments公司的晶體取向測(cè)量技術(shù)，極大提高了生產(chǎn)效率，提升產(chǎn)品質(zhì)量。 

◆  Mapping 面掃功能，搖擺曲線(xiàn)測(cè)定         

◆  易于集成到工藝線(xiàn)中        

◆  MES和/或SECS/GEM接口        

◆  傾斜的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小于< 0.001 °        

Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀是一個(gè)全自動(dòng)的垂直三軸衍射儀，用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對(duì)各種晶體進(jìn)行取向測(cè)定和搖擺曲線(xiàn)測(cè)量。大而寬敞的設(shè)計(jì)可以容納長(zhǎng)度達(dá)450毫米、重量達(dá)30公斤的樣品和樣品架。        

傾斜角可以以非常高的精度確定；使用Theta掃描可以達(dá)到0.001°。對(duì)于所有其他晶體方向，精度取決于與表面垂直的角差。        

該系統(tǒng)是模塊化的，已經(jīng)配備了許多不同的擴(kuò)展，用于特殊的目的，如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過(guò)光學(xué)測(cè)量檢測(cè)出來(lái)的，并可用于校正所產(chǎn)生的方向。        

Omega/Theta XRD - X射線(xiàn)晶體定向儀：        

◆  全自動(dòng)完整的單晶體晶格取向測(cè)量        

◆  使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測(cè)量        

◆  自動(dòng)搖動(dòng)曲線(xiàn)測(cè)量功能        

◆  衍射儀的角度分辨率：0.1角秒。        

◆  樣品尺寸可達(dá)450毫米        

◆  適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究        

 用戶(hù)友好，成本效益高：        

◆  方便的樣品處理，易于操作        

◆  *的、用戶(hù)友好的軟件        

◆  能源消耗和運(yùn)行成本低        

◆  模塊化設(shè)計(jì)，靈活性強(qiáng)        

◆  各種升級(jí)選項(xiàng)        

◆  根據(jù)用戶(hù)的要求進(jìn)行定制        

選配功能：        

◆  自動(dòng)Mapping面掃功能        

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)（堆垛 stacking）        

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線(xiàn)測(cè)量        

◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺(tái)        

◆  用于樣品形狀測(cè)量的激光掃描儀        

◆  光學(xué)檢測(cè)，用于平面和凹槽檢測(cè)        

◆  額外的樣品旋轉(zhuǎn)軸用于3D繪圖        

◆  二級(jí)通道切割準(zhǔn)直器（分析器）        

◆  用于樣品調(diào)整的設(shè)備